SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 150 mm (6”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-T1-801

Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***

Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK | Stage: Anodized aluminum

Wafer size：200 mm (8”)

System：Automatic system

Slots：Up to 25

Material rods：Antistatic carbon fiber

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

【商品説明】

主にプローブ・テスト工程での用途で広く利用されています。エピタキシャル工程向けでは、WIP製造カセットまたは特殊EPIプロセスカセットへの移送を可能にします。熱処理ベークエリアではWIP製造カセットとメタルまたは石英カセット間でのウェハを移送。計測・検査エリアでは欠陥検査などの品質管理のための搬送にも用いられます。

元々のロットを“奇数”と“偶数”のロットに分割し、製造の品質や効率性を確保する運用、および、裏面処理用にウェハを180°反転して別カセットに移すといった運用も可能です。

WHS‑T1 SafeGuardシリーズは薄型ウェハ搬送に特化した先進的なバルク搬送システムです。反りや湾曲したウェハをエッジ部の摩耗や機械的インパクト無しで取り扱うことができ、歩留まり向上と欠陥低減を実現します。

コンパクトな設置面積でクリーンルームの制約下でも導入しやすく、高い精度と安全性を両立します。

対応ウェハサイズは76mm～200mmで、InP、GaAs、GaN、SiC、各種複合ウェハにも対応しています。電動式25セット搬送アームがカセットから優しくウェハを持ち上げるため、カセット内でのスライドや垂直移動時の位置ズレリスクを回避できます。

操作面ではSafe Guardのタッチスクリーンインターフェースとライトタワーがシステム状態と搬送進行をリアルタイムに通知して効率的な運用を支援します。ウェハ反転アプリケーション向けには標準および反転カセットローディングの双方をサポートする特注ステージも提供可能です。Hバーの上下配置が可能で、オペレーターが手動でカセットを反転して裏面処理に対応する運用にも適しています。

WHS‑T1はISO 3（FS209Eクラス1）クリーンルーム対応でSEMI準拠、ISO9001認証施設で製造されCE認証を取得しています。高精度半導体環境での信頼性の高いバルクウェハ搬送のソリューションを実現します。