エレクトロニクス関連商品のオンラインストア 2023年1月16日[月] AM10:00オープン

Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産

Vendor 協同インターナショナル
ASK

Model 800Eセミオート両面マスクアライナーは、光学両面アライメント機能を兼ね備えたハードパッケージに搭載されたシステムです。装置に任せる事が可能でセミオートで動作します。
R&Dで光学式なトップ面またはボトム面のアライメントが可能な他、少量産機としての使用にも適しています。

詳しくはこちらから

モデル 800E
基板 対応サイズ 8インチ角 まで
マスク 対応サイズ 9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±5mm
回転 : ±4°
アライメント 精度 片面:0.5~1µm
両面:<2µm(3σ)
露光 時間 1s-3200s (0.1s間隔)
露光 モード : 解像度 プロキシミティ:3-5μm(15-20μmギャップ)
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1810mmH×1270mmW×912mmD
This is a pre order item. We will ship it when it comes in stock.