Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産

Name: Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産
Brand: 協同インターナショナル
Availability: OutOfStock

協同インターナショナル

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Model 800Eセミオート両面マスクアライナーは、光学両面アライメント機能を兼ね備えたハードパッケージに搭載されたシステムです。装置に任せる事が可能でセミオートで動作します。
R&Dで光学式なトップ面またはボトム面のアライメントが可能な他、少量産機としての使用にも適しています。

モデル	800E
基板対応サイズ	8インチ角まで
マスク対応サイズ	9インチ角まで
アライメントステージコントロール	XY 動作 : ±5mm 回転 : ±4°
アライメント精度	片面：0.5～1µm 両面：＜2µm（3σ)
露光時間	1s-3200s (0.1s間隔)
露光モード : 解像度	プロキシミティ：3-5μm（15-20μmギャップ）ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm
スループット	-
付帯設備	電源 : 220V 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン
サイズ	1810mmH×1270mmW×912mmD

Quantity must be 1 or more