Model 200 マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用

Name: Model 200 マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用
Brand: 協同インターナショナル
Availability: OutOfStock

協同インターナショナル

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Model 200マスクアライナーはテーブルトップ装置で、R&Dや大学向けに適したリーズナブルでシンプルなシステムです。

モデル	200
基板対応サイズ	8インチ角まで
マスク対応サイズ	9インチ角まで
アライメントステージコントロール	XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 1500µm 回転 : ± 3.5°
アライメント精度	-
露光時間	0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは　1s～999s(1s間隔）
露光モード : 解像度	プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm
スループット	-
付帯設備	電源 :　110V もしくは 220V (仕様による) 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン
サイズ	940mmH x 788mmW x 635mmD

Quantity must be 1 or more