Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用

Name: Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用
Brand: 協同インターナショナル
Availability: OutOfStock

協同インターナショナル

ASK

片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。

モデル	212
基板対応サイズ	12インチ角まで
マスク対応サイズ	14インチ角まで
アライメントステージコントロール	XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 5mm 回転 : ± 3.5°
アライメント精度	-
露光時間	0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは　1s～999s(1s間隔）
露光モード : 解像度	プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm
スループット	-
付帯設備	電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン
サイズ	1067mmH×1524mmW×1346mmD

Quantity must be 1 or more