エレクトロニクス関連商品のオンラインストア 2023年1月16日[月] AM10:00オープン

Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用

Vendor 協同インターナショナル
ASK

最大12”までの中型基板に適したベンチトップタイプのR&D用マスクアライナーです。

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モデル 212
基板 対応サイズ 12インチ角まで
マスク 対応サイズ 14インチ角まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm
Z 動作 : 5mm
回転 : ± 3.5°
アライメント 精度 -
露光 時間 0.1s~99.0s(0.1s間隔)もしくは 1s~999s(1s間隔)
露光 モード : 解像度 プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1067mmH×1524mmW×1346mmD
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