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多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動化プラットフォームである WHS-T2があります。より繊細な操作には、SafeGuardトランスファー(WHS-T1)が適しています。この高度な自動化システムは、摩耗のないバルク ウェハトランスファー用に設計されており、高価値、薄型、複合材料のウェハに最適です。2カセットウェハソーターのWHS-T4は、省スペースのフットプリントと、ウェハID読み取り、単一ウェハトランスファーおよびソート機能などの高度な機能を提供します。このモデルは、仕分けの柔軟性を備えた多用途でコンパクトなソリューションを必要とする作業に最適です。
l ウェハとカセットの接地経路を備えた帯電防止構造
l メンテナンスフリーの精密スライドレール
l 耐薬品性材料
l ウェハの反転/反転
l ISO 4 対応
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T3-402
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Anti-Static/Natural Polypropylene
Wafer size：100 mm (4”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
Product Number：WHS-T3-602
Wafer size：150 mm (6”)
Product Number：WHS-T3-802
Material：Stage: Anti-Static/Natural Polypropylene Arm: ESD-Safe Polyoxymethylene
Wafer size：200 mm (8”)
WHS-T3シリーズは、2つのSEMI準拠カセット間でウェハを安全に移動するように設計された、精密手動水平バルクウェハスライド転送システムです。
76 mm、100 mm、150 mm、200 mmウェハ用の標準モデルのラインアップがあるWHS-T3は、高プロファイルおよび低プロファイルのプラスチックプロセスカセット、金属カセット、およびH-BARを備えたほとんどの出荷カセットと互換性があります。このシステムは、出荷/受領、エピタキシャル、ウェット ケミストリー、熱処理領域などの半導体製造環境で、スムーズで効率的なウェハ転送を保証します。
WHS-T3は、高度なコーティングロッドとUHMWベアリングブロックで構築されたメンテナンス不要の精密スライドレールシステムを備えており、信頼性が高くスムーズな操作を実現します。帯電防止、耐摩耗性、耐薬品性の材料で作られたWHS-T3は、ISO 4 (FS209E クラス10) クリーンルームに対応しており、取り扱いおよび転送プロセス中にウェハを最適に保護します。
より特殊なウェハ処理のために、WHS-T3は、150 mmおよび200 mm ウェハ用のウェハ反転および反転用のオプションモデルを提供しています。これらのモデルは、標準の Hバー下向きまたは反転したHバー上向きの両方の方向でカセットを収容できるようにカスタムステージを使用して設計されており、転送中にウェハを正確に反転できます。
ISO9001認定施設で製造され、CE 認定を受けたWHS-T3シリーズは、手動ウェハ転送用の堅牢で信頼性の高いソリューションを提供し、さまざまな半導体製造プロセスでウェハの安全性と処理精度を保証します。
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