静電チャック(ESC/Eチャック) Echuck/E-Chuck

イオン注入(IMP)装置E500/EHP500用の静電チャック(Eチャック/ESC)の販売。150mm(6インチ)用P/N:E11098653、200mm(8インチ)用P/N:E11098654の互換品。TEL(VARIAN)

※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。