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200mm(8インチ) CMPリテーナーリング 200mm(8 inch) Retainer Ring

ASK

CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。8インチ(200mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。

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¥8,500,000

CMP装置用FABSロボットの再生済中古品。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。フルオーバーホールの対応も可能。 ※納期：受注後5～7週間※中古品につきタイミングによっては売り切れの場合があります。

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アプリケーター(コイル付き石英チューブ) Applicator (Quartz Tube with Coil)

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エッチング(Etching)装置用の石英(クォーツ/Quatz)アプリケーター(コイル付きチューブAssy)の販売。12インチ(300mm)用。LAM Versys kiyo用。P/N: 765-065782-001用など。

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ASK

CVD装置用V452 SBCボードの互換品の新品販売。P/N: 0090-03467/0090-76133の互換品。納期：受注後8～10週間。

パッドコンディショナーローテーションギアボックス Pad Conditioner Rotation Gear Box

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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。非純正(2ndソース)モデル。内部シール、ギアデザインの改善モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS11納期：受注後2週間。

ASK

CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS03納期：受注後22週間。

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ASK

CVD装置用TXZヒーター(TXZ Heater)。P/N:0010-28715の互換品。AMAT CVD装置Centura TXZチャンバー用。300mm用形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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ASK

CMP装置用のガスケットロボットブレード。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0020-78177の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド 8.0 PEDESTAL PAD for LOAD CUP

ASK

CMP装置用の8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0021-24557の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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CFユニット(ACD-73100)用CFカード CF Card for CF Unit (ACD-73100)

ASK

Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。

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パッドコンディショナースイッチングバルブ Pad Conditioner Switching Valve

ASK

CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ＆プレイ」で装置へのインストールが簡単（15分以内）、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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DPSスロットルバルブリードスクリューAssy DPS Throttle Valve Leadscrew Assy

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エッチング(Etching)装置用のDPSスロットルバルブリードスクリューAssy の販売。8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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DPSメタルスロットルバルブ 5フェーズAssy (ベルトタイプ)DPS, Metal, Throttle Valve 5-Phase Assy ( Belt Type )

ASK

エッチング(Etching)装置用のスロットルバルブAssyの販売。5フェーズ、ベルトタイプ、8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。P/N:0010-30135の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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ASK

CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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キャリアプレート黒色ハードアノダイズ Carrier Plate, TITAN-I, Hard Black Ano

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CMP装置用キャリアプレート/メンブレンサポート。TITAN-I/1ヘッド用。純正P/N:0020-79088の互換品。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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PPSセンタリングジョー/アーム PPS Centering Jaws/Arms

ASK

CMP装置用PPSセンタリングジョー/アーム。純正P/N:0020-78932等の互換品。材質はPPS(※純正はPEEK)。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra用のラインアップ。

300mm(12インチ) CMPリテーナーリング, PPS, 300mm(12 inch) Retainer Ring, PPS

ASK

CMP装置用リテーナーリング。材質はPPS。12インチ(300mm)用。AMAT Reflexion/LK用。P/N:0241-04012/0041-75394/0247-01552/0040-97734等の互換品。

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べーポライザー(べーパーライザー)用オーブン/るつぼ Vaporizer for Oven/Melting Pot

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イオン注入(インプラ/IMP)装置用べーポライザー(べーパーライザー)用オーブン(るつぼ)の販売。AMAT(Applied Materials) Quantum 3(Ⅲ)用。P/N:9240-03843の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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PC/FC-98➡Windows 10変換エミュレーター PC/FC-98 to Windows 10 Conversion Emulator

ASK

NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース評価不要のため低コス...

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

from ¥200,000

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。

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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの販売。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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Sales of isolator Teflon clamp for CVD equipment. For AMAT(Applied Materials) Centura DXZ. Compatible with P/N: 0020-33330. *Photos are representative and may differ from the actual product.

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Sales of cup clamp screws (black) for CVD equipment. For AMAT(Applied Materials) Centura DXZ. Compatible with P/N: 0020-33343. *Photos are representative and may differ from the actual product.