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l 帯電防止アルミ製真空チップ
l 380mmまたは450mmウェハ用
l 373mm (半径)の円形真空ポケット付き30oオフセット
l 前面接触アプリケーション
l SEMI標準のウェハ処理に対応
l 帯電防止PEEK素材
l ストレートタイプまたは曲げタイプのラインアップ
l プラテンの取り外し用ナイフエッジまたはスパチュラ
l 高温ポリイミド
l チップアセンブリ - チップ、チューブ、アダプター
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