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ウェハハンドリングツール

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マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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EUVマスクピック EUV mask pick EUVマスクピック EUV mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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サイドマスクピック Side mask pick サイドマスクピック Side mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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水平マスクピック Horizontal mask pick 水平マスクピック Horizontal mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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ウェハエスカレーター Wafer Escalators ウェハエスカレーター Wafer Escalators
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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。   l  独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止 l  読み取りを容易にしたウェハスロット構造（前のスロッ...
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ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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シングルウェハプレゼンター Single wafer presenter シングルウェハプレゼンター Single wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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オートプレゼンター Auto wafer presenter オートプレゼンター Auto wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハソーター Wafer sorter ウェハソーター Wafer sorter
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100/150/200mmウェハに対応した自動ウェハソーター。IDに基づく分割・結合・圧縮やカスタムミックス作成が可能。傾斜ステージロードポートやリニアロボット、高精度な光学フラットアライナーと標準のIDリーダー（OCR/バーコード/データマトリックス対応のCognexまたはIOSS選択可）を備え、SECS/GEM互換ソフトウェアでロット・ID追跡やMRPによる部分的リモート制御が可能で生産...