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ウェハハンドリングツール

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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な 「バネ 」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。   Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3) l頑丈な圧着防止...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用のハンドル・グリップ・取っ手。   l  通常オープンのユニバーサルワンドハンドル l  静電気防止構造 l  大型グリップ   Vacuum wand handle normally open pressfit antistatic large grip (W...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ(先端)。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様、ナイフエッジ仕様など複数のラインアップ。   Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down l  帯電防止アルミ...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   Vacuum wand set small device (WHS-V2) l  簡単にセットできるアッセンブリー品 l  静電気防止構造 l  小型デバイス S...
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定価 ¥1
販売価格 ¥1
定価
単価
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   Cordless portable vacuum wand (WHS-V6)   l  ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic notch aligner (WHS-A3) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l  ±1°ノッチアライメント...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Manual notch aligner (WHS-A4) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l  ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l  接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l  クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l  ±1以内の...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...