HVパワーサプライ(高電圧電源)修理 HV/High Voltage Power Supply Repair

イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHV電源(ハイボルト電源)の修理。電源:OL8000/104/02(A1010070)、Stack:OL8000/104/01 (A1010080)。Glassman、Spellman、Motechホイールスピンアンプ電源 MP80(0090-91596)、MR71/PL21(0090-91124)、MH21/MH22(0090-91597)も対応。Axcelis、AMAT、Varian等に対応可能。

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