AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools

CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除いたデザイン。0021-23550/0021-10296/0020-09602/0020-10134/0040-05294/0040-02938の互換品。AMAT ENDURA、P5000、Centura用。Input Block、Output Block/DLH SACVD CVG/DLH SiN/PECVD CVG/TxZ HP+ CVG。

【特長】

・セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除くことで全ての欠陥の元を無くすことができるデザインです。

・再組み上げ時間を大幅に短縮し、最初の組み上げ成功率も向上させています。

・PMの時間を短縮でき、装置ダウンタイムの低減に寄与します。

【対応機種】