WHS-T4は、ウェハの取り扱いと仕分けの効率を高めるために設計された最先端の自動ウェハ仕分け装置です。100 mm、150 mm、または200 mmのウェハを処理でき、オプションでデュアル150mm/200mm 構成も備えたWHS-T4は、ハードウェアの変更を必要とせずにウェハ処理の柔軟性をユーザーに提供します。ユーザーは、IDに基づいてウェハを仕分けすることで、簡単に分割、結合、圧縮、またはカスタムウェハミックスを作成できるため、半導体工場向けの多目的ツールとなっています。

WHS-T4には、人間工学に基づいた2つの傾斜ステージロードポート、リニアロボット、および光学式ウェハ ノッチ/フラットアライナーが搭載されており、正確な仕分けが可能です。システムには標準のID リーダーが含まれており、お客様は OCR、バーコード、またはデータマトリックス認識用にCognexまたはIOSSブランドのリーダーを選択できます。SECSGEMソフトウェアの互換性により、工場全体でロットと IDの追跡が容易になり、MRPシステムを介してシステムを部分的にリモート制御できるため、生産ワークフローにシームレスに統合できます。

WHS-T4は、高度な機能を備えているにもかかわらず、設置面積がわずか871mm x 1700mm x 373mmとコンパクトで、スペースが限られたクリーンルーム環境に最適です。このシステムは、厚さ220 μmから 1000μmのウェハを処理でき、25スロットカセットでの自動ソートをサポートしています。オプションで12、13、または26スロットカセットの構成も可能です。また、オプションで50 ウェハロットを処理するための内部ウェハ バッファステージも備えています。

このツールは、静電気放電から保護するESD安全構造で作られており、WHS-T4は信頼性の高い高性能ウェハ ソートを実現します。ISO9001認定施設で製造され、CE認定を受けているため、半導体製造環境で堅牢なパフォーマンスと長期的な信頼性を保証します。