φ8"チャッククリーニングウェハ(CCW)＋□9"パーティクルリムーバルフィルム(PRF) 1式

 【内訳】

8インチ⽤チャッククリーニングウェハ（CCW）

・RNC-SCB-0043NG7 強粘タイプ　1枚・・・主にETCH/PVD⽤

8インチ⽤CCW⽤9インチ□パーティクルリムーバルフィルム（PRF）1セット＝10枚⼊

・RNP-PRF-1038（シリコーン系CCW⽤）