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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
定価
¥90,000
販売価格
¥90,000
定価
単価
/対して
日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品:φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。
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