3ポート ロータリーユニオン 3-Port Rotary Union

CMP装置研磨ヘッド用3ポート(ゾーン)ロータリーユニオンの販売。主にDublin製品の互換品。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77127の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。