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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair

¥560,000

CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。詳しくはこちらから

プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish

¥700,000 から

CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...

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¥1,050,000

CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ヘッドスウィープモーターAssy修理 Head Sweep Motor Repair

¥450,000

CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの修理。純正品に見られるケーブル切れの問題を改善したアップグレード付修理。P/N:0010-77217、0010-03697。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。詳しくはこちらから【修理内容】 Headsweep is fully inspected upon receipt A2 and A3 assemblies are mo...

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¥870,000

ホースポンプ。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Hose Pump HP application: filling, through-flow and draining of the unit. seals up to 99 °

¥100,000

洗浄装置用メガアイドラー(Mega Idler)。純正P/N:0010-77582/0010-17014等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

¥220,000

洗浄装置用メガローラー(Mega Roller)。純正P/N:0040-43238/0040-87416/0040-87418等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

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¥42,000

~~¥33,000~~

■品名Description：Mo 3N φ10×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Mo ・純度Purity:99.9%up ・サイズSize:φ10x5t ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥44,000

~~¥35,000~~

■品名Description：Mo 3N φ15×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Mo ・純度Purity:99.9%up ・サイズSize:φ15x5t ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥1,960,000

AMAT CMP装置Reflexion LK用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットショルダー軸モーター(Shoulder Axis Motor P/N:0190-77125)の互換品。当社P/N:BW402L3R3。エンコーダー付。8" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットリスト軸モーター(Wrist Axis Motor P/N:0190-16236)の互換品。当社P/N:BW402L2R3。エンコーダー付。4.5" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットZ軸モーター(Z Axis Motor)。P/N:0190-17944(当社P/N:BW402L1L4) 13" High Flex Cable仕様、P/N:0190-16234(当社BW402L1R5)15ピン仕様の互換品。エンコーダー付。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

ロータリーユニオン修理/再生/オーバーホール Rotary Union Repair/Refurbish/Overhaul

¥350,000 から

CMP装置研磨ヘッド用ロータリーユニオンの修理/再生/オーバーホール。主にDublin製品に対応。3/4/6/8ポート(ゾーン)に対応。バック回収、パーツ交換、再組立、テスト。主に0190-17925/0760-01020/0760-01034/0760-01037/0190-12122/0190-34105用。AMAT Mirra用。詳しくはこちらから

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¥85,000

~~¥68,000~~

■品名Description：Sb2S3 3N φ15xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Sb2S3 ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ15xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥88,000

~~¥70,000~~

■品名Description：Sb2S3 3N φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Sb2S3 ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥63,000

~~¥50,100~~

■品名Description：SiO2 4N φ10×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:SiO2 ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥117,000

~~¥93,600~~

■品名Description：SiO2 4N φ10×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:SiO2 ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥101,000

~~¥80,300~~

■品名Description：SiO2 4N φ20×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:SiO2 ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥186,000

~~¥140,700~~

■品名Description：SiO2 4N φ20×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:SiO2 ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥63,000

~~¥50,000~~

■品名Description：Zn 4N φ10×t5 ■仕様Specification: ・材質Material:Zn ・純度Purity:99.99 % ・サイズSize:φ10 xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥58,000

~~¥46,000~~

■品名Description：Zn 4N φ20×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Zn ・純度Purity:99.99 % ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

改良型クロスカバー（防スラリーモデル）0020-79378 Modified Cross Cover (Anti-slurry model)

¥300,000 から

CMP装置改良型クロスカバー(スラリー付着防止モデル)。P/N:0020-79378の互換品。スラリーが付着しにくくコンタミ/パーティクル問題を改善するアップグレード品。AMAT Reflexion用。詳しくはこちらから

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¥160,000

オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。