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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system
¥3,000,000
¥3,000,000
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法（mm） 450(W)×450(D)×780(H)　 本体重量 40kg～80kg　（軽量化はオプション） ガン寸法　重量 24(W)...
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ナノパターン露光装置 PhableR 100
¥120,000,000
¥120,000,000
デスクトップ式ナノパターン露光(フォトリソグラフィー)装置。タルボ効果を利用し周期構造に対してハーフピッチ150nmの一括露光が可能。電子ビーム描画レベルの解像度で周期性をもったデバイス開発に最適。DUV光源選択時にはハーフピッチ75nmの一括露光も可能。 詳しくはこちらから ナノパターン露光装置PhableR 100の仕様 解像度 150nm ハーフピッチ（リニアグレーティング）＊D...
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ニオブ_タブレット_Φ10xt5_20個入り
¥44,000
¥44,000
¥35,000
■品名Description：Nb2O5 3N φ10xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Nb2O5 ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ニオブ_タブレット_Φ20xt5_10個入り
¥79,000
¥79,000
¥63,000
■品名Description：Nb2O5 3N φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Nb2O5 ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ニッケル_タブレット_Φ10xt10_20個入り
¥18,000
¥18,000
¥14,000
■品名Description：Ni 4N φ10xt10 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt10 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ニッケル_タブレット_φ10×t 5_20個入り
¥15,000
¥15,000
¥11,300
■品名Description：Ni 4N φ10xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ニッケル_タブレット_φ20×t 5_10個入り
¥32,000
¥32,000
¥25,000
■品名Description：Ni 3Nup φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ニッケル_タブレット_φ20×t 5_10個入り
¥28,000
¥28,000
¥22,000
■品名Description：Ni 4N φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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バナジウム_タブレット_φ10×t 3_20個入り
¥84,000
¥84,000
¥67,000
■品名Description：V 3N φ10×t3 ■仕様Specification: ・材質Material:V ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ10xt3 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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バナジウム_タブレット_φ20×t 3_10個入り
¥84,000
¥84,000
¥67,000
■品名Description：V 3N φ20×t3 ■仕様Specification: ・材質Material:V ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ20xt3 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit
¥220,000
¥220,000
パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。
パッドコンディショナーローテーションギアボックス Pad Conditioner Rotation Gear Box
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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS03納期：受注後22週間。
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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X
¥400,000
¥400,000
パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。
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パワーサプライ(電源) Power Supply
¥1,100,000
¥1,100,000
パワーサプライ(電源)。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。 詳しくはこちらから 品名 型番 用途 Power Supply PS with thyristor pre-regulation, LAN Comp.-interface and Coarse/Fine-Po...
パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF) パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)
¥29,000 から
¥29,000 から
¥0
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...
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ビスマス_ターゲット_φ101.6×t 5
¥125,000
¥125,000
¥100,000
■品名Description：Bi 4N φ101.6×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Bi ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ101.6xt5 ・その他Other:ボンディング含まず ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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ビスマス_ターゲット_φ152.4×t 5
¥188,000
¥188,000
¥150,000
■品名Description：Bi 4N φ152.4×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Bi ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ152.4xt5 ・その他Other:ボンディング含まず ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談） 　　
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フレクサー Flexure 0040-77343
¥40,000
¥40,000
  フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個 詳しくはこちらから
フロッピーディスク（FD）⇒SDカード変換型ユニット「Masty」 フロッピーディスク（FD）⇒SDカード変換型ユニット「Masty」
¥3,500 から
¥3,500 から
製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。 詳しくはこちらから
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ブルーエクステンダー基本セット BlueXtender Basic Set ブルーエクステンダー基本セット BlueXtender Basic Set
¥298,000
¥298,000
多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイスとゲートウェイの販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。 詳しくはこちらから 【セット構成】 ・NSX7000(1)・ロッ...
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ブルーエクステンダー追加エッジデバイス BlueXtender Additional Edge Device
¥42,500
¥42,500
多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイス単品の販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。 詳しくはこちらから 【セット構成】 ・BlueXtenderEdge(1)...
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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair
¥560,000
¥560,000
CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish
¥700,000 から
¥700,000 から
CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...
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ヘッドスウィープモーターAssy Head Sweep Motor
¥1,050,000
¥1,050,000
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。