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ASK

¥3,300,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。MEIボード(MEI Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売。P/N:0660-01705/0190-14502の互換品(型番は要問い合わせ）。

Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter

¥320,000 から

ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

¥220,000 から

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。

¥200,000 から

ASK

¥2,500,000

タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。詳しくはこちらから model 対応波長帯域強度レンジ Model659 365nm – 436nm ～7,500mW/cm2 ...

NSKメガトルクモーター＋ドライバー修理/再生 NSK Megatorque Motor & Driver Repair/Refurbish/Overhaul

¥190,000 から

CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの修理/再生。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RZ0810FN507/RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF8-05、0190-14344に対応。AMAT Mirra用。詳しくはこちらから

OAI製UV照度計(パワーメーター) Model 358＋400nmプローブレンタル UV Illuminometer (Power Meter) Model 358＋400nm Probe Rental

¥180,000

米国OAI製UV照度計 Model 358 と400nmプローブ(Probe)のレンタルサービス。 ※本レンタル機は、校正期間中の代替機としても利用しているため、タイミングによっては貸し出しができない場合があります。予めご了承ください。詳しくはこちらから

OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration

¥100,000 から

米国OAI製UV照度計とプローブ(Probe)の校正サービス。Model306/308/311/316/317/356/357/358/359/457/459/656/659、全380シリーズに対応。プローブは365/400/420/436nm等。主にフォトリソグラフィー装置の光源用途。新品の販売も対応。詳しくはこちらから

ASK

Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT MirraオキサイドTITAN-1（タイタン1）用のキャリアヘッドAssyです。3ゾーン(ポート)用。リテーナーリング、メンブレンは除く。P/N:0010-77196互換品。0010-77197(Assy,Upper,8"TITAN )、0010-77198(Assy, Lower,Oxide)。・表示価格は１個時の単価です。

Polos HP200 プレシジョンホットプレート POLOS HP200 Precision Hotplate

¥860,000 から

プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。詳しくはこちらから POLOS Hotplate 200 Standard• Voltage: 230 VAC Temperature range: 50 - 230°C - Programmable storage...

POLOS Spin150i デスクトップレンタル POLOS Spin150i Rental

¥10,000 から

POLOS Spin150i デスクトップのレンタルサービス。レンタル期間は1週間単位。基本レンタル価格：45,000円（税別）/週1週間（実働5日間）単位以後は1日10,000円（税別）/日の追加料金が発生します。他、輸送費（片道分）1,000円（税別）が別途発生します。 1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピン...

¥1,020,000 から

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。【使用可能基板サイズ】最大 φ...

POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】

¥1,540,000 から

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。【使用可能基板サイズ】最大 φ...

ASK

¥9,460,000

マスクレス露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロプリンター。マイクロ構造、複製、スティッチングが可能なソフトフェアを搭載。研究開発(R&D)向け。 POLOS µPrinter Maskless photolithography equipmentSFTprintSFTprint with 435nm light source Machine control so...

ASK

¥8,220,000

光学露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロライター。コンフォーカル顕微鏡付き。マイクロレーザー制御ソフトウェアを搭載。主に405nmレーザー用。研究開発(R&D)向け。405nm laser, optical system including 3 lenses, confocal microscope with yellow illumination for fo...

Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor

¥130,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150x、Spin200xに対応。 ※写真はDP-40V 詳しくはこちらから

Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor

¥110,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2～φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2～φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。 ※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」：参考資料詳しくはこちらから

POLOSホットプレート 350アドバンスド POLOS HOTPLATE 350 Advanced

¥2,060,000

プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。詳しくはこちらから POLOS Hotplate 350 Advanced• Voltage: 230 VAC Temperature Range: 50 - 230°C - Programmable storage...

ASK

PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。詳しくはこちらから

ASK

QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

ASK

QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレードモデル。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

ASK

QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

ASK

¥5,000

多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるBlueXtenderソリューションの開設費用(手数料)。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。 ※初年度(初期設定時)のみに発生します。取扱説明書_Ver.1.0 Bluetoothデバイス定義ファイ...

¥120,000 から

BlueXtenderの専用アプリ(ダッシュボード)＋クラウド利用料/年間の販売。利用プランは利用ハードウェア(センサー、ゲートウェイ)の総数50個、100個、300個、500個から選択可能。閾値を設定し、アラートメール通知、CSVデータ出力も可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。【デバイス単位での年間利⽤料】ゲートウ...