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φ4インチ×725μmt(厚み特殊仕様) 熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
・直径：100±0.5㎜・⾯状態：⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・厚さ：725±25μm・⾯⽅位：100・熱酸化膜：10000ű10％・納期：4週間程度
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