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WHS-A2シリーズは76 mmから150 mmのウェーハに対応する手動フラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiCなどの複合材料ウェハにも適合しており、主要プロセスでの正確な上下面バルクアライメントを保証します。また、人間工学に基づくスピンノブとレバーによりオペレーターの疲労を低減しつつ精密な制御を可能にし、スプリング式ステージがウェハの吸着とエッジ保護を行って歩留まりを向上させ破損リスクを下げます。静電気拡散性材料で作られており、ウェハとカセットの両方を接地してESDから繊細なデバイスを保護し、ISO 4（クラス10 FS209E）クリーンルーム環境での使用に適合する設計となっています。加えてSEMI準拠カセットとの互換性やクイックディスコネクトローラーアセンブリを備え、メンテナンスやロット整合性チェック、エッジ検査といった日常運用を容易にして早期欠陥発見と遅延防止に寄与します。ISO9001認証施設で製造されCE認証を取得しているため、国際的な品質・安全基準に準拠したクリーンルーム向けの精密ウェハハンドリング機器として適しています。
l 接地されたウェハとカセットパスを備えた帯電防止構造
l メンテナンスとクリーニングが簡単なクイック ディスコネクトローラー
l アライメント、ロットの整合性、エッジ検査タスクをサポート
l 76mm～150 mm ウェーハの手動ウェハ アライメント用に設計
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A2-301
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Antistatic Polyoxymethylene
Wafer size：76 mm (3”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)
Product Number：WHS-A2-401
Wafer size：100 mm (4”)
Product Number：WHS-A2-601
Wafer size：150 mm (6”)
Product Number：WHS-A2-701
Wafer size：Multisize 76,100,125,150 mm
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