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WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハを処理できるように設計されており、リソグラフィー、成膜、エッチングなどの重要な半導体プロセスで正確なアライメントを保証します。
l 接地されたウェハとカセットパスを備えた帯電防止構造
l メンテナンスとクリーニングが簡単なクイック ディスコネクトローラー
l アライメント、ロットの整合性、エッジ検査タスクをサポート
l 76mm～150 mm ウェーハの手動ウェハ アライメント用に設計
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A2-301
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Antistatic Polyoxymethylene
Wafer size：76 mm (3”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)
Product Number：WHS-A2-401
Wafer size：100 mm (4”)
Product Number：WHS-A2-601
Wafer size：150 mm (6”)
Product Number：WHS-A2-701
Wafer size：Multisize 76,100,125,150 mm
l 76 mm ～ 150 mm のウェハに対応する経済的なトップ/ボトムフラットアライナー
l メンテナンスが簡単で長寿命のクイックディスコネクトローラー
l 接地されたウェハおよびカセットパスを備えた帯電防止構造
l 保護を強化する接地ストラップを備えたESD安全
Product Number：WHS-A6-301
Material：Anti-static POM/anodized aluminum
Product Number：WHS-A6-401
Product Number：WHS-A6-601
WHS-A2は、人間工学に基づいたスピンノブとレバーを備えており、アライメントを正確に制御しながらオペレーターの疲労を軽減します。スプリングローデッドステージはウェハを優しく噛み合わせ、エッジを保護し、歩留まりを向上させ、破損のリスクを軽減します。
WHS-A2 は静電気拡散材料を使用して製造されており、ウェハとカセットの両方を接地することでESDの保護を実現し、センシティブなデバイスを保護します。ISO 4(クラス10 FS209E)クリーンルーム環境で動作するように設計されており、厳格な汚染制御要件を満たしています。
WHS-A2はSEMI準拠のウェハカセットと互換性があり、メンテナンスが簡単なクイックディスコネクトローラーアセンブリを備えています。ロットの完全性チェックやエッジ検査などの重要なタスクをサポートし、オペレーターが欠陥を早期に検出し、コストのかかる遅延を防ぐのに役立ちます。
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