Online store for electronics-related products
100/150/200mmウェハに対応した自動ウェハソーター。IDに基づく分割・結合・圧縮やカスタムミックス作成が可能。傾斜ステージロードポートやリニアロボット、高精度な光学フラットアライナーと標準のIDリーダー（OCR/バーコード/データマトリックス対応のCognexまたはIOSS選択可）を備え、SECS/GEM互換ソフトウェアでロット・ID追跡やMRPによる部分的リモート制御が可能で生産ワークフローに容易に統合することができます。設置面積871×1700×373mmのコンパクト設計。厚さ220–1000μmのウェハを25スロットカセット（12/13/26スロットオプションあり）や内蔵バッファステージ（50ロット対応オプション）で自動仕分けします。最大処理能力は約650枚/時。ESD保護構造。ISO9001・CE認証取得済。
l 100、150、200 枚のウェハとオプションでデュアルサイズ150/200mmをご用意
l クリーンルーム向けのコンパクト設計 (871 mm x 1700 mm x 373 mm)
l 追跡とリモート制御用のSECSGEM互換
l CognexまたはIOSS IDリーダーを選択
★詳細の商品説明は本ページの最下段に記載しています。
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T4-401
Remarks：CE certification
Material：End effector: Antistatic carbon fiber
Wafer size：100 mm (4")
System：Automatic system
Slots：Up to 26
Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)
Product Number：WHS-T4-601
Wafer size：150 mm (6”)
Product Number：WHS-T4-801
Wafer size：200 mm (8”)
Product Number：WHS-T4-701
Wafer size：Dual size 150 + 200 mm (6”- 8”)
WHS-T4-SERIES Datasheet-2-cassette wafer sorter
【商品説明】
WHS-T4シリーズは、100mm/150mm/200mm対応（オプションで150/200のデュアル構成）で、ハードウェアの変更なしでウェハ処理の柔軟性を可能にする自動ウェハソーターです。
ウェハIDに基づく分割・結合・圧縮・カスタムミックス作成が可能で半導体製造における多用途ツールとして機能します。
人間工学に配慮した2つのチルトステージ式ロードポート、リニアロボット、高精度な光学式ノッチ/フラットアライナーを備え、CognexまたはIOSS製のOCR・バーコード・データマトリックス対応IDリーダーを標準搭載しているため、各種識別方式に応じた確実なトレーサビリティを実現します。
SECS/GEMに対応しているため、工場全体でのロット・ID追跡やMRP経由の部分的リモート制御が可能。生産ワークフローへも容易に統合できます。
設置面積871mm×1700mm×373mmのコンパクト設計で、220μm〜1000μmのウェハ厚に対応。25スロットカセットでの自動ソーティング（オプションで12/13/26スロットや50枚ロット対応の内部バッファステージ選択可）により、限られたクリーンスペースでも高効率な運用が行えます。
カーボンファイバー製エンドエフェクター（背面真空吸着／マッピング）や2系統の電源（0〜240VAC）と真空源、SECS/GEMまたはテキストデータ出力の通信手段、CE認証取得といった仕様を備えています。
ESD対策構造により静電気放電から保護された信頼性の高い動作を提供し、ISO9001認証工場での製造により長期的な品質と堅牢性を担保します。
Adding product to your cart
No products in the cart.
