真空ピンセットの真空度を測定するためのオプション部品です。

l  高精度と再現性

l  クリーンルーム対応設計

l  高速応答時間

l  ポータブル設計による柔軟性

Vacuum gauge (WHS-V5)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-V5-VACUUM-GAUGE

本真空ゲージは、高精度で再現性のある測定と高速応答性能を備え、クリーンルーム向けの低アウトガス材料を用いた設計により半導体製造ラインでの汚染を防ぎつつ、真空度を適切に管理してウェハの安全なピックアップと落下による損失防止を実現します。そしてポータブルな柔軟性を持ち、製造プロセス全体の安定性と安全性を確保するための即時フィードバックと信頼性の高い情報を提供します。