フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。

 

WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。

WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1が適さない場合に柔軟に対応します。

WHS-L3 は、高度な極端紫外線 (EUV) マスクを扱うために作られており、EUV レチクル ポッドとシームレスにインターフェースする 4つの薄型グリッパーを備え、安定性とセキュリティを確保します。

 

l  5～9インチ□フォトマスク用接線エッジサイドグリップ

l  クロムとの接触を防ぎ、汚染リスクを低減

l  搬送、検査、洗浄工程に最適

l  帯電防止、耐薬品性を備え、ISO 3クリーンルームで使用可能

l  台座ホルダー付属

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 5x5x0.090

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-5090

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：5x5x0.090

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 6x6x0.120

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-6120

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：6x6x0.120

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 6x6x0.250

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-6250

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：6x6x0.250

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 7x7x0.120

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-7120

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：7x7x0.120

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 7x7x0.150

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-7150

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：7x7x0.150

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 9x9x0.120

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-9120

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：9x9x0.120

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)

 

 

Photomask Handling Tool (WHS-L1) 14x14x0.187

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L1-14187

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：14x14x0.187

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)