フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。

WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。

WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1が適さない場合に柔軟に対応します。

WHS-L3 は、高度な極端紫外線 (EUV) マスクを扱うために作られており、EUV レチクル ポッドとシームレスにインターフェースする 4つの薄型グリッパーを備え、安定性とセキュリティを確保します。

EUV mask grip - 6”x6”x0.250” (WHS-L3)

l  6×6インチ□ EUVレチクル用4グリッパー設計

l  Cr（クロム）との接触を防ぎ、汚染を最小限に抑えます

l  標準のEUVレチクル収納ポッドに適合

l  レチクルをコントロールしやすくする短縮グリッパー

l  使用後の保護用ホルダー付属

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-L3-6250

Material：Antistatic Polyoxymethylene 

Mask Size：6”x6”x0.250”

Grip hold：Side grip

Holder：With holder

Handling：Normally closed

Material gripper insert：Viton elastomer

Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)