カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。
多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動化プラットフォームである WHS-T2があります。より繊細な操作には、SafeGuardトランスファー(WHS-T1)が適しています。この高度な自動化システムは、摩耗のないバルク ウェハトランスファー用に設計されており、高価値、薄型、複合材料のウェハに最適です。2カセットウェハソーターのWHS-T4は、省スペースのフットプリントと、ウェハID読み取り、単一ウェハトランスファーおよびソート機能などの高度な機能を提供します。このモデルは、仕分けの柔軟性を備えた多用途でコンパクトなソリューションを必要とする作業に最適です。
Automatic wafer transfer
l SEMI準拠カセット間の自動ウェハ転送
l 76mm、100mm、150mm、200mmウェハに対応
l 安全センサーを内蔵したタッチスクリーン制御
l クリーンルームでの使用に適した帯電防止、耐薬品性素材
l 半導体向けISO 4およびCE認証
【仕様】
76mm（φ3インチ用）
パーツNo.：WHS-T2-301
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T2-301
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene | Stage: Natural Polypropylene
Wafer size：76 mm (3”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
100mm（φ4インチ用）
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T2-401
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene | Stage: Natural Polypropylene
Wafer size：100 mm (4”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T2-601
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene | Stage: Natural Polypropylene
Wafer size：150 mm (6”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
200mm（φ8インチ用）
パーツNo.：WHS-T2-801
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T2-801
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene | Stage: Natural Polypropylene
Wafer size：200 mm (8”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
【備考】
※ご注文の際はカセットのモデル番号を指定してください。
※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。
※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。
WHS-T2シリーズは、精密に設計された自動水平バルクウェハスライドトランスファーシステムで、2つのSEMI準拠カセット間でウェハを安全に移動できるように設計されています。76mm、100mm、150mm、200mmウェハ専用のサイズがラインアップとしてあります。WHS-T2は、高プロファイルおよび低プロファイルのプラスチックプロセスカセット、金属カセット、およびH-BARを備えたほとんどの出荷カセットと互換性があります。この高度なシステムにより、出荷/受領、エピタキシャル、ウェットケミストリー、熱処理領域など、さまざまな半導体アプリケーションで、スムーズで効率的なウェハ転送が保証されます。
WHS-T2には、直感的な制御のためのタッチスクリーンディスプレイ、統合されたSENDおよびRECEIVEステージカセットインプレース センサー、および移動中に過度の力を検出してウェハの完全性を保護する調整可能な転送アーム抵抗センサーが装備されています。
さらに、超音波センサーは、オペレーターが転送を開始したときに RECEIVEカセットにウェハがすでに存在するかどうかを検出することで追加の安全性チェックを提供し、潜在的なエラーやウェハの損傷をさらに防ぎます。
WHS-T2は帯電防止性、耐薬品性を備えた素材で作られており、ISO4 (FS209Eクラス10)クリーンルーム規格に準拠した、クリーンで管理された環境を保証します。その汎用性により、計測、エッチング、検査、プローブ、テスト領域でのウェハ処理に適しています。
ISO9001認定施設で製造され、CE認定を受けたWHS-T2は、半導体製造環境での精密ウェハ転送に堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。
