膜付きウェハ（カスタマイズ）

膜付きウェハをご希望の仕様に合わせて作製します。

弊社準備のSiウェハ（φ2～φ12インチ等）への成膜、ご支給基板への成膜のいずれのケースにも対応します。

【特徴】

• 自社保有のスパッタリング装置による成膜加工

• 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能

• 保有材料＝約120種類！！（金属、合金、酸化物、窒化物 etc.）

  ターゲット在庫表はこちら

• 3層まで同一真空チャンバー内で成膜可能

• 小片～φ300mmサイズの少量～中量産（数100枚）の製造キャパ
• 弊社スパッタ成膜加工の詳細はこちら

下のお問い合わせフォームから製作仕様をご入力いただきご相談ください。