8インチポリイミド静電チャック再生(ESC/Eチャック) 8INCH Polyimide ECHUCK(ESC) Refurbishment

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。アルミ(Al)アルマイト(アノダイズ)再生＋ESC貼り換え、ESC貼り換えのみの二通りの再生。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0041-34688/0010-10327/0040-99949の互換品。

※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。