スパッタ成膜

自社保有のスパッタ装置を利用した成膜加工のファンドリーサービス

• 自社保有設備＝8台

• 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能

• 保有材料＝約120種類（金属、合金、酸化物、窒化物 etc.）

• 3層まで同一真空チャンバー内で成膜可能

• 小片～φ300mmサイズの少量～中量産（数100枚）の製造キャパ

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