ドライエッチング

自社保有のドライエッチング装置を利用したドライエッチング加工のファンドリーサービス

• 自社保有設備＝2台（RIE=1台、ICP＝1台）

• 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) へのエッチング/アッシングが可能

• パターン付き基板への加工も可能

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