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12インチシリコンウェハ 12INCH SILICON WAFER

12インチシリコンウェハ 12INCH SILICON WAFER

協同インターナショナル
¥600,000
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研究/開発用途向けφ12インチシリコンのダミー/テストウェハの販売になります。

 

品名 12インチSiダミー 12インチSi（90ｎｍ） 12インチSi（65ｎｍ） 12インチSi（26ｎｍ） 12インチSi（19ｎｍ）
グレード ダミー モニター モニター モニター モニター
直径 300±0.5㎜ 300±0.2㎜ 300±0.2㎜ 300±0.2㎜ 300±0.2㎜
タイプ P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron
厚み 775±25μｍ 775±25μｍ 775±25μｍ 775±25μｍ 775±25μｍ
抵抗値 1～100Ω㎝ 1～100Ω㎝ 1～100Ω㎝ 1～100Ω㎝ 1～100Ω㎝
面方位 ＜100＞ ＜100＞ ＜100＞ ＜100＞ ＜100＞
ノッチ方位 ＜110＞ ＜110＞ ＜110＞ ＜110＞ ＜110＞
TTV ＜5μｍ ＜5μｍ ＜5μｍ ＜5μｍ ＜5μｍ
BOW ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ
Warp ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ ＜40μｍ
パーティクル ≧0.2μｍ≦50個 ≧0.09μｍ≦50個 ≧0.065μｍ≦50個 ≧0.026μｍ≦50個 ≧0.019μｍ≦50個
数量 100枚時 100枚時 100枚時 100枚時 100枚時

 

※写真は製品イメージであり実物とは異なります。
※各製品の納期は都度お問い合わせください。

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