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複数の半導体製造装置をリモート(遠隔)操作/制御し、人的工数・時間・コストの大幅削減を実現するシステム。Gobot(ハードウェア)とGESLA(ソフトウェア)などの設置・インストレーション・教育訓練費用のイメージ。
・派遣人員は2~3名
・搭載装置1台分の作業日数の目安は約2日間
※旅費(交通・宿泊費)も含んでいますが、遠隔地の場合は別途請求の対象となります。
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