【商品説明】

ウェハ（25枚など）をカセット（キャリア/キャリヤ）toカセットで移動させるためのマニュアル式ウェハトランスファー（ウェハ移動ツール）。76mm（3インチ）、100mm（4インチ）、150mm（6インチ）、200mm（8インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。

WHS-T3シリーズは、出荷/受領、エピタキシャル、ウェットケミストリー、熱処理、計測・検査、プローブ・テストなどの半導体製造工程で、出荷カセットからWIP製造カセットや特殊プロセスカセットへウェハを移送するための高精度な手動水平バルクウェーハスライド搬送システムです。またウェハを180°反転して別カセットへ移す反転用途にも対応します。

・標準で76mm、100mm、150mm、200mmに対応し、High/Lowプロファイルのプラスチックプロセスカセット、メタルカセット、H‑BAR装備カセットと互換性があるため、様々な工程でスムーズかつ効率的な搬送を実現します。

・さらに150mmおよび200mm向けの反転オプションは、Hバーの向きにかかわらずカセットを収容するカスタムステージを備え、搬送中の正確なウェハ反転を可能にします。

・構造面では、高度なコーティングを施したロッドとUHMWベアリングブロックを用いたメンテナンスフリーの精密スライドレールを採用。信頼性と滑らかな動作を確保するとともに、帯電防止性・耐摩耗性・耐薬品性に優れた材料で製造されているためISO 4（FS209E クラス10）クリーンルームに適合してウェーハを最適に保護します。

・WHS-T3はISO9001およびCE認証取得工場で生産されており、手動搬送における堅牢性と信頼性を提供して各種半導体プロセスでの安全かつ精度の高いハンドリングを保証します。