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l SEMI準拠カセット間の自動ウェハ転送
l 76mm、100mm、150mm、200mmウェハに対応
l 安全センサーを内蔵したタッチスクリーン制御
l クリーンルームでの使用に適した帯電防止、耐薬品性素材
l 半導体向けISO 4およびCE認証
★詳細の商品説明は本ページの最下段に記載しています。
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-T2-301
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene | Stage: Natural Polypropylene
Wafer size：76 mm (3”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material arm：Antistatic Polyoxymethylene
Cleanroom designation：ISO 4 (FS209E Class 10)
Product Number：WHS-T2-401
Wafer size：100 mm (4”)
Product Number：WHS-T2-601
Wafer size：150 mm (6”)
Product Number：WHS-T2-801
Wafer size：200 mm (8”)
【商品説明】
WHS-T2は、76〜200mmのウェハを2つのSEMI準拠カセット間で安全かつ効率的に移送する自動水平バルクウェハスライド搬送システムです。
出荷/受領、エピタキシャル、ウェットケミストリー、熱処理、計測・検査、プローブ・テストなど多様な半導体工程で使用が可能です。
High/Lowプロファイルのプラスチックプロセスカセット、メタルカセット、H-BAR付き出荷カセットなど幅広いカセットと互換性を持ち、異なる工程間でのスムーズなウェハ搬送を実現します。
タッチスクリーン操作、SEND/RECEIVEのカセットインプレースセンサー、搬送アームの調整可能な抵抗センサーにより過度の力を検知してウェハ損傷を防ぎます。
超音波センサーが既存のウェハ有無を確認して二重搬送やエラーを未然に防止します。
素材は帯電防止性と耐薬品性を備え、ISO4（FS209Eクラス10）クリーンルーム基準に準拠して清浄な作業環境を維持し、計測やエッチング、検査、プローブなどの用途にも適しています。
ISO9001認証の施設で製造されCE認証も取得しているため、半導体製造向けの堅牢で信頼性の高いウェハ搬送ソリューションを提供します。
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