4インチルテニウム(Ru)膜付きシリコンウェハ

研究/開発用途向け4インチRu膜付きSiウェハの販売になります。数枚～少量産までご希望の枚数をご相談ください。

【ウェハ仕様】

4インチRu膜付きSiウェハ

膜構成：Sub/Ti/Ru

膜厚公差：±10％以内

グレード：ダミー

ウェハ厚み：525±25μｍ

導電型：P型

面方位：＜１００＞

抵抗値：1～100Ω・cm

面状態：ミラー/エッチド

標準納期：約2～3週間

※受注生産品となります。TiとRuの膜厚をご指定ください。

※他JEITA標準サイズ(2,4,6,8,12インチ)も対応しております。カスタムはお気軽にお問い合わせください。