静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。Centura DPS、Super-e、MXP+、TCP/Alliance 9400/9600、Exelan-Hpt、Flex、Kiyo、UNITY、8500、DRM、SCCM等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にLAM、TEL、AMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。