TRIO-PLUS ウェハホルダー 12インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 12 inch

薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。Φ12インチ/300mm(角基板も可)対応。樹脂製。

• 4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
• 表面の外周3ｍｍは加工エリア外になります。
• φ2"~12"に対応します（角基板やその他形状でも対応します）。
• 材質は、PEEK、PP、PTFE（本体）、PVDF（シーリング）
• サスペンションのタイプを選べます。

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