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Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産

Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産

協同インターナショナル
ASK

両面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。トップ面またはボトム面のアライメントが可能。半自動/セミオート式。研究開発(R&D)向け。少量産向け。OAI製。

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モデル 800E
基板 対応サイズ 8インチ角 まで
マスク 対応サイズ 9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±5mm
回転 : ±4°
アライメント 精度 片面：0.5～1µm
両面：＜2µm（3σ)
露光 時間 1s-3200s (0.1s間隔)
露光 モード : 解像度 プロキシミティ：3-5μm（15-20μmギャップ）
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1810mmH×1270mmW×912mmD
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