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Model 2000 エッジビード露光システム 量産用向け

売り手 協同インターナショナル
ASK

片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。中量産向け。フラッド露光/エッジビード露光が可能。シャドウマスク技術が必要なエッジビード除去工程向け。OAI製。

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モデル 2000
基板 対応サイズ 12インチ径まで
マスク 対応サイズ -
アライメント ステージコントロール -
アライメント 精度 -
露光 時間 1s-999s (0.1s間隔)
露光 モード : 解像度 -
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1727mH x 1041mmW x 914mmD
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