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ギャラリービューアに画像をロードする, POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ギャラリービューアでビデオをロードして再生する, POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】

POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】

売り手 協同インターナショナル
ASK

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)PTFE(テフロン)から選択可。

※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。

【使用可能基板サイズ】

l  最大 φ12インチ(300 mm)ウェハ形状

l  最大 □8インチ(200 mm)の基板(角基板)

 

【主な機能】

l  液体フィルタートラップ・シリンジまたはディスペンスノズル用の中央部注入ホルダー

l  安全性を考慮した開閉蓋ロック機能と真空センサー

l  取り外し可能な大型タッチスクリーンディスプレイ

l  USBドライブにレシピ保存が可能。ソフトウェアアップデートを行うためのUSBポート仕様ドライブユニット

l  間接ブラシレスドライブユニット-最大12,000 RPM

l  加速度:1 30,000 RPM・時計回り/反時計回りの回転、パドルモード動作

l  アドバンスドモデルの付加機能:プログラム可能なモーターホーミングオプション

ロボット制御/自動化

自動蓋開閉

 

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