WHS-T2シリーズは、精密に設計された自動水平バルクウェハスライドトランスファーシステムで、2つのSEMI準拠カセット間でウェハを安全に移動できるように設計されています。76mm、100mm、150mm、200mmウェハ専用のサイズがラインアップとしてあります。WHS-T2は、高プロファイルおよび低プロファイルのプラスチックプロセスカセット、金属カセット、およびH-BARを備えたほとんどの出荷カセットと互換性があります。この高度なシステムにより、出荷/受領、エピタキシャル、ウェットケミストリー、熱処理領域など、さまざまな半導体アプリケーションで、スムーズで効率的なウェハ転送が保証されます。 

WHS-T2には、直感的な制御のためのタッチスクリーンディスプレイ、統合されたSENDおよびRECEIVEステージカセットインプレース センサー、および移動中に過度の力を検出してウェハの完全性を保護する調整可能な転送アーム抵抗センサーが装備されています。

さらに、超音波センサーは、オペレーターが転送を開始したときに RECEIVEカセットにウェハがすでに存在するかどうかを検出することで追加の安全性チェックを提供し、潜在的なエラーやウェハの損傷をさらに防ぎます。

WHS-T2は帯電防止性、耐薬品性を備えた素材で作られており、ISO4 (FS209Eクラス10)クリーンルーム規格に準拠した、クリーンで管理された環境を保証します。その汎用性により、計測、エッチング、検査、プローブ、テスト領域でのウェハ処理に適しています。 

ISO9001認定施設で製造され、CE認定を受けたWHS-T2は、半導体製造環境での精密ウェハ転送に堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。