徴収:
ETCH
Dタイプ小片アダプター D-type Fragment Adapter
定価
¥40,000 から
販売価格
¥40,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
26533
D-V10-S50-PP
Fragment adapter, material NPP, vac...
Cタイプ非真空メカニカルチャック(4センタリングピン)C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
定価
¥190,000
販売価格
¥190,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Aタイプ真空チャック(センタリングピン無し)A-type Vacuum chuck without centering pins
定価
¥60,000 から
販売価格
¥60,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
31857
A-V36-S45-PP-HD
Vacuum chuck without cent...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-V「Reborn」
定価
¥3,000,000
販売価格
¥3,000,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
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仕様
本体寸法(mm)
450(W)×450(D)×780(H)
本体重量
40kg~80kg (軽量化はオプション)
ガン寸法 重量
24(W)...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-I Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-I
定価
¥5,500,000
販売価格
¥5,500,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
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仕様
本体寸法(mm)
500(W)×650(D)×885(H)
本体重量
130kg
ガン寸法 重量
36(W)×450(D)×160(H) 96...
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