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定価 ¥40,000 から
販売価格 ¥40,000 から
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 26533 D-V10-S50-PP Fragment adapter, material NPP, vac...
定価 ¥190,000
販売価格 ¥190,000
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから
定価 ¥60,000 から
販売価格 ¥60,000 から
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 31857 A-V36-S45-PP-HD Vacuum chuck without cent...
ASK
定価 ¥3,000,000
販売価格 ¥3,000,000
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ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 450(W)×450(D)×780(H)  本体重量 40kg~80kg (軽量化はオプション) ガン寸法 重量 24(W)...
ASK
定価 ¥5,500,000
販売価格 ¥5,500,000
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ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 500(W)×650(D)×885(H) 本体重量 130kg ガン寸法 重量 36(W)×450(D)×160(H) 96...