シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。

Vacuum wand set small device (WHS-V2)

l  簡単にセットできるアッセンブリー品

l  静電気防止構造

l  小型デバイス

Vacuum wand set 76-100 mm compound/thin (WHS-V2)

l  簡単にセットできるアッセンブリー品

l  帯電防止構造

l  φ76～φ100 mm

l  複合/薄型

Vacuum wand set 150-200 mm (WHS-V2)

l  簡単にセットできるアッセンブリー品

l  帯電防止構造

l  φ150～φ200 mm

Vacuum wand set 150-200 mm compound/thin (WHS-V2)

l  簡単にセットできるアッセンブリー品

l  帯電防止構造

l  φ150mm～φ200mm

l  複合/薄型

Vacuum wand set 300 mm (WHS-V2)

l  簡単にセットできるアッセンブリー品

l  帯電防止構造

l  φ300mm