真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul

半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等。

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