150mm(6インチ) CMPリテーナーリング 150mm(6 inch) Retainer Ring

CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。6インチ(150mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。

※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。
※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。