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CMP装置研磨ヘッド用ロータリーユニオンの修理/再生/オーバーホール。主にDublin製品に対応。3/4/6/8ポート(ゾーン)に対応。バック回収、パーツ交換、再組立、テスト。主に0190-17925/0760-01020/0760-01034/0760-01037/0190-12122/0190-34105用。AMAT Mirra用。
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