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多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動化プラットフォームである WHS-T2があります。より繊細な操作には、SafeGuardトランスファー(WHS-T1)が適しています。この高度な自動化システムは、摩耗のないバルク ウェハトランスファー用に設計されており、高価値、薄型、複合材料のウェハに最適です。2カセットウェハソーターのWHS-T4は、省スペースのフットプリントと、ウェハID読み取り、単一ウェハトランスファーおよびソート機能などの高度な機能を提供します。このモデルは、仕分けの柔軟性を備えた多用途でコンパクトなソリューションを必要とする作業に最適です。
l 76 mm ～ 200 mm のウェハ用の精密ロボット制御
l 薄い、反りのある、高価なウェハを丁寧に処理
l コンパクトでメンテナンスの手間が少ない ISO 3 (クラス 1) 設計
l 設定を調整できるプログラム可能なタッチスクリーン
l オプションの反転カセット転送機能
WHS-T1 SafeGuardシリーズは、市場で最も先進的なバルク ウェハ トランスファーシステムであり、繊細なウェハの取り扱いにおいて優れた精度と安全性を提供します。薄型ウェハ トランスファー専用に設計された数少ないシステムの1つで、エッジの摩耗や機械的衝撃を引き起こすことなく、反りや湾曲したウェハを非常に効率的にトランスファーし、高い歩留まりと低い欠陥を保証します。システムの設置面積がコンパクトなため、スペースが限られたクリーンルーム環境に最適で、パフォーマンスと効率の両方を提供します。
WHS-T1は、InP、GaAs、GaN、SiC 複合ウェハを含む 76 mm～200 mmウェハ用に設計されています。モーター付きの 25セットトランスファーアームがウェハをカセットから静かに持ち上げるため、カセット内でウェハをスライドさせる必要がなく、垂直移動システムで薄型ウェハの位置を危険にさらす必要もありません。SafeGuardのタッチスクリーン インターフェイスとライトタワーは、オペレーターにリアルタイムで通信し、システムの状態とトランスファーの進行状況を示して、操作を合理化します。
ウェハの反転/反転アプリケーションの場合、WHS-T1は、標準および反転カセットローディングの両方をサポートするステージ付きで特別注文でき、Hバーを「上」または「下」に配置できます。これにより、オペレーターはウェハをカセットから取り出し、手動でカセットを反転し、ウェハを戻すことができるため、裏面処理に最適です。
WHS-T1は、ISO3 (FS209Eクラス1) クリーンルーム対応でSEMIに準拠しており、高プロファイル カセットと低プロファイル カセットの両方を処理できます。ISO9001認定施設で製造され、CE認定を受けた WHS-T1は、高精度半導体環境でのバルク ウェハ転送用の業界で最も先進的で信頼性の高いソリューションです。
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