WHS-T3シリーズは、2つのSEMI準拠カセット間でウェハを安全に移動するように設計された、精密手動水平バルクウェハスライド転送システムです。

76 mm、100 mm、150 mm、200 mmウェハ用の標準モデルのラインアップがあるWHS-T3は、高プロファイルおよび低プロファイルのプラスチックプロセスカセット、金属カセット、およびH-BARを備えたほとんどの出荷カセットと互換性があります。このシステムは、出荷/受領、エピタキシャル、ウェット ケミストリー、熱処理領域などの半導体製造環境で、スムーズで効率的なウェハ転送を保証します。

WHS-T3は、高度なコーティングロッドとUHMWベアリングブロックで構築されたメンテナンス不要の精密スライドレールシステムを備えており、信頼性が高くスムーズな操作を実現します。帯電防止、耐摩耗性、耐薬品性の材料で作られたWHS-T3は、ISO 4 (FS209E クラス10) クリーンルームに対応しており、取り扱いおよび転送プロセス中にウェハを最適に保護します。

より特殊なウェハ処理のために、WHS-T3は、150 mmおよび200 mm ウェハ用のウェハ反転および反転用のオプションモデルを提供しています。これらのモデルは、標準の Hバー下向きまたは反転したHバー上向きの両方の方向でカセットを収容できるようにカスタムステージを使用して設計されており、転送中にウェハを正確に反転できます。

ISO9001認定施設で製造され、CE 認定を受けたWHS-T3シリーズは、手動ウェハ転送用の堅牢で信頼性の高いソリューションを提供し、さまざまな半導体製造プロセスでウェハの安全性と処理精度を保証します。