WHS-A4シリーズは、200mm (8インチ) ウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された精密手動ウェハノッチアライナーです。リソグラフィー、成膜、エッチングなどの半導体アプリケーションに最適なこのアライナーは、重要なプロセスでウェハノッチの向きが正確に整列していることを保証します。現代の半導体製造の要求を満たすように設計されており、SEMI準拠の200 mmウェハカセットと互換性があります。

スプリング式ノッチキャッチコームアセンブリと帯電防止ポリウレタンローラーを備えたWHS-A4は、ウェハに優しく接触し、ウェハのエッジを保護しながらパーティクルの発生を最小限に抑え、歩留まりを最大化します。人間工学に基づいた設計にはスピンノブとレバーシステムが含まれており、手動アライメント作業中の作業者の疲労を軽減します。 

静電気拡散材料で作られたWHS-A4は、ウェハとカセットの両方を接地して敏感な半導体デバイスへの損傷を防ぐ堅牢なESD保護を提供します。ISO 4 (クラス10 FS209E) クリーンルーム環境向けに設計されたこのアライナーは、厳格な要件を満たしています。汚染制御基準を満たしています。

クイックディスコネクトローラーアセンブリによりメンテナンスが簡素化され、迅速かつ効率的なクリーニングが可能になります。WHS-A4 は、アライメントに加えて、ロットの完全性チェックとエッジ検査をサポートしているため、オペレーターはウェハの欠陥を早期に検出し、コストのかかる生産遅延を回避できます。

ISO9001およびCE認定施設で製造されたWHS-A4は、品質とパフォーマンスに関する厳格な国際基準を満たしており、半導体クリーンルーム環境での正確な手動ウェハアライメントに最適なソリューションです。