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E220/E550/EHP220/EHP500/VIISion/VIISta用ESCアップグレードモデル
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E220/E550/EHP220/EHP500/VIISion/VIISta用ESCアップグレードモデル

協同インターナショナル
ASK
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イオン注入(IMP)装置E220/E500/EHP220/EHP500/VIISion/VIISta用の静電チャック(Eチャック/ESC)のアップグレードモデル。耐プラズマ/アーク等の機能面でオリジナル品の問題点を改善。TEL(VARIAN)
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